탐사 스테이션 프로브 스테이션 소개

프로브 스테이션은 작동 측면에서 수동, 반자동, 완전 자동으로 구분할 수 있습니다.

기능 측면에서 온도 제어 프로브 스테이션, 진공 프로브 스테이션(초저온 프로브 스테이션), RF 프로브 스테이션, LCD 평면 패널 프로브 스테이션, 홀 효과 프로브 스테이션, 고객 요구에 따라 맞춤화된 표면 저항 프로브 스테이션

척 크기: 4*4 6 *6 8*8 12 *12 (옵션)

X-Y 이동 스트로크: 4*4 6*6 8*8 12*12 (옵션)

척 Z축 방향 리프팅 10mm 낮추면(옵션) 편리합니다. 프로브와 시료의 신속한 분리

현미경: 금속현미경, 실체현미경, 단안현미경(옵션)

현미경 이동 모드: 컬럼 둘러싸는 방식, 이동 플랫폼 유형, 갠트리 구조 유형(옵션)

프로브 홀더: 0.7um, 2um, 10um 정밀 옵션, 자기 스위치가 있는 자기 흡착

테스트를 위해 프로브 카드와 함께 사용할 수 있음

적용 분야: 웨이퍼 공장, 연구소, 대학 등 척 크기 800mm/600mm

X, Y 전동 스트로크 200mm/150mm

척 조동 조정 리프트 9mm, 미세 조정 리프트 16mm

MITUTOYO 금속 현미경 또는 AEC 고체 현미경과 함께 사용할 수 있습니다.

바늘 홀더 수는 6~8개입니다.

X-Y-Z 이동 현미경 범위는 2x2x2입니다.

프로브 카드 테스트와 함께 사용할 수 있습니다.

적용 영역: 8인치/6인치 웨이퍼, IC 테스트 제품 척 크기 1200mm, 평탄도 1u(스테인리스) 강철 또는 금도금)

X ,Y 전기 이동 스트로크 300mm x 300mm

척 거친 조정 리프트 9mm, 미세 조정 리프트 16mm, 미세 조정 정확도는 약 1u

MITUTOYO 크리스탈 이미징 현미경 또는 AEC 고체 현미경과 함께 사용할 수 있습니다.

바늘 홀더 수는 8~12개입니다.

현미경의 X-Y-Z 이동 범위는 2"x2"입니다. x2"

재질: 화강암 테이블 + 스테인레스 스틸

프로브 카드 테스트와 함께 사용 가능

적용 분야: 12인치 웨이퍼, IC 테스트 제품 로봇 암 조각 선택 및 배치

위치를 찾기 위한 전기, 입력 좌표

측정 크기(mm): 1800x1600, 1300x1200, 1200x1000 백열등 또는 LED 전면 백라이트

TFT 부품 특성, 드라이버 IC 측정 분석

기계 크기(mm): 800x600, 500x400 , 300x300 고주파 테스트 프로브 GSG / GS / SG

주파수 10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

기계 크기는 LCD 프로브 스테이션 측정 소프트웨어와 동일합니다:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax , RS, 충전율,

전력 변환 효율성

KEITHLEY 소스 미터 사용

모든 브랜드의 태양광 시뮬레이터 장착 가능