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icp-ms 전체 이름
ICP-MS의 정식 명칭은 유도결합플라즈마 질량분석기(Inductionly Coupled Plasma Mass Spectrometer)로, 화학원소 분석 및 검출이 주 목적이며, 특히 금속원소 등의 분석에도 탁월하다. B, P, As 등등. He, ICP-OES 및 AAS는 화학 원소 분석에 일반적으로 사용되는 세 가지 장비입니다. ICPMS는 PPT(10의 마이너스 12승) 수준에 도달할 수 있는 가장 낮은 검출 한계를 가지고 있습니다.
ICP-MS에 사용되는 이온화원은 유도결합플라즈마(ICP)로 원자방출분광계에 사용되는 ICP와 동일하며 본체는 3층의 석영 슬리브로 구성된 토치이다. 튜브의 상단에는 로드 코일이 감겨져 있으며, 3층 튜브는 내부에서 외부로 캐리어 공기, 보조 공기 및 냉각 공기를 전달하여 고주파 전원 공급 장치를 생성합니다. 코일 평면에 수직인 자기장. 아르곤 가스가 고주파 장치로 이온화되면 아르곤 이온과 전자는 전자기장의 작용으로 다른 아르곤 원자와 충돌하여 더 많은 이온과 전자를 생성하여 소용돌이를 형성합니다. 강력한 전류는 고온을 생성하여 아르곤 가스를 최대 10,000K 온도의 플라즈마 토치로 즉시 전환합니다. 샘플이 운반 가스에 의해 플라즈마 토치로 유입되면 증발, 분해, 여기 및 이온화됩니다. 보조 가스는 플라즈마를 유지하는 데 사용되며 필요한 양은 분당 약 1L입니다. 냉각 공기는 외부 튜브에 접선 방향으로 유입되어 나선형 공기 흐름을 생성하며, 이는 부하 코일에서 외부 튜브의 내벽을 냉각시킵니다. 냉각 공기 유량은 분당 10-15L입니다.