마그네트론 스퍼터링이란 무엇인가요?

마그네트론 스퍼터링의 원리:

고에너지 입자(일반적으로 전기장에 의해 가속된 양이온)를 사용하여 고체 표면에 충격을 가하여 운동을 교환합니다. 고체 표면에서 날아와 감지되는 현상을 마그네트론 스퍼터링이라고 합니다.

스퍼터링된 원자(또는 원자단)는 일정량의 에너지를 갖고 있으며 이를 고체 기판의 표면에 재증착, 응집시켜 박막을 형성할 수 있는 것을 타이밍 코팅이라고 한다. 가스 이온화를 생성하는 가스 방전, 그 양이온은 전기장의 작용에 따라 고속으로 음극 타겟을 폭격하여 음극 타겟의 원자 또는 분자를 녹아웃시켜 도금된 기판의 표면으로 날아가게 합니다. 비철금속 전도성 필름.