정밀 정전용량형 변위 센서의 주요 특징은 무엇인가요?

우선, 업계마다 정밀도에 대한 정의가 다릅니다. 주요 설계 개념에는 정확성, 분해능 및 반복성이 포함됩니다. 정확도는 선형성 또는 절대 오류라고도 합니다. 이론적인 참값과 센서 측정값의 최대 편차를 나타냅니다. 분해능은 출력 변화를 생성하기 위해 센서에 필요한 최소 변위 변화를 나타냅니다. 반복성이란 센서가 동일한 위치를 반복적으로 측정할 때 측정값 간의 변화 정도를 말합니다. 나노미터 수준의 정확도를 갖춘 고급 정밀 용량형 변위 센서입니다. 분해능은 더 작아지고 반복성은 센서의 온도 보상 기능이 양호하고 환경의 안정성이 있는지 여부에 따라 크게 달라집니다. 현재 세계에서 상대적으로 고급형 정전 용량 센서 브랜드로는 독일 Miiridium과 미국 MTI가 있습니다. 물론 가격은 상대적으로 높을 것입니다. 정밀 부품 측정, 정밀 메커니즘의 이동(예: 포토리소그래피 기계 포지셔닝) 등과 같이 정말 초고성능이 필요한 분야라면 여전히 고급 센서를 사용해야 합니다.