금속 타겟의 응용

메탈 타겟이란 물리기상증착(PVD)이나 화학기상증착(CVD) 등 박막 제조 기술에 사용되는 금속 소재를 말한다. 이는 높은 순도, 균일성 및 우수한 기계적 특성을 가지며 다음 분야에서 널리 사용됩니다.

1. 반도체 산업: 금속 타겟은 반도체 산업에서 매우 중요한 재료입니다. 이는 집적 회로, 디스플레이 장치, 태양 전지 등을 제조하기 위해 알루미늄, 구리, 티타늄, 크롬 및 기타 금속 필름과 같은 금속 필름을 준비하는 데 사용됩니다.

2. 광학 코팅: 금속 타겟은 광학 코팅 분야에도 사용됩니다. 금속 필름을 증착함으로써 반사, 투과, 필터링 등과 같은 렌즈, 필터, 거울과 같은 광학 부품의 특정 광학 특성을 얻을 수 있습니다.

3. 전도성 코팅: 금속 타겟은 전도성 코팅에서 핵심적인 역할을 합니다. 예를 들어, 구리 타겟은 터치 스크린, 전도성 전극, 전도성 재료 등을 제조하기 위한 전도성 필름을 준비하는 데 사용될 수 있습니다.

4. 금속 합금 준비: 금속 타겟을 합금 준비에 사용할 수 있습니다. 타겟의 조성 및 증착 조건을 제어함으로써 항공우주, 자동차 제조, 화학 산업 및 산업 분야에 사용되는 니켈-크롬 합금, 코발트-크롬 합금 등과 같은 특정 조성 및 특성을 갖는 금속 합금 재료를 제조할 수 있습니다. 다른 분야.

5. 하드 코팅: 금속 타겟은 하드 코팅을 준비하는 데에도 사용됩니다. 예를 들어, 텅스텐 타겟을 사용하여 탄질화텅스텐(WCN) 코팅을 준비하여 공구와 금형의 경도와 내마모성을 개선하고 서비스 수명을 연장할 수 있습니다.