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금속 타겟 소개

금속 타겟은 PVD(물리증착법) 기술의 스퍼터링 코팅 공정에 사용되는 일반적인 재료입니다. 금속 타겟은 일반적으로 고체 형태로 존재하며 다음과 같은 특징을 갖습니다.

1. 광범위한 재료: 금속 타겟에는 구리, 알루미늄, 철, 티타늄, 크롬, 니켈 등과 같은 다양한 금속 원소가 포함될 수 있습니다. . 다양한 금속 타겟은 물리적, 화학적, 전기적 특성이 다르며 다양한 응용 시나리오에 적합합니다.

2. 높은 순도: 금속 타겟은 일반적으로 필름의 품질과 성능을 보장하기 위해 높은 순도를 갖습니다. 고순도 금속 타겟은 불순물이 필름에 미치는 영향을 줄여 필름의 전기적, 광학적 특성을 향상시킬 수 있습니다.

3. 크기 및 모양: 금속 타겟은 일반적으로 특정 직경, 두께 및 치수를 가진 디스크 또는 직사각형 모양으로 존재합니다. 이러한 크기와 모양은 특정 스퍼터링 장비에 따라 맞춤화될 수 있으며 특정 코팅 공정을 수용해야 합니다.

4. 내열성: 금속 타겟은 일반적으로 스퍼터링 중 고에너지 이온 충격과 고온을 견디기 위해 높은 내열성을 가져야 합니다. 내열성 금속 타겟은 장기간 안정적인 스퍼터링을 유지하고 타겟의 수명을 연장할 수 있습니다.

5. 가공 성능: 금속 타겟은 일반적으로 가공 특성이 좋으며 절단, 트리밍, 설치 등의 가공이 가능합니다. 이러한 방식으로 실제 필요에 따라 적합한 대상 모양과 크기를 준비할 수 있습니다.