전자 등급 불화 수소산 품질 기준

현재, 전자급 수소산에 대한 마이크로전자 제조업체의 요구가 다르기 때문에 네 가지 등급으로 나눌 수 있다.

1 저급 제품 > 1.2μmIC 공정 제조;

2. 0.8 ~ 1.2 미크론 집적 회로 기술 생산에 적합한 중저가 제품

3. 0.2 ~ 0.6 미크론 집적 회로 기술 생산에 적합한 중급 및 고급 제품

0.09 ~ 0.2 미크론 및