EPI 저항, 두께, 저항 균일성, 두께 균일성과 관련된 것과 이를 제어하는 ​​방법

FTIR 푸리에 변환 적외선 분광계

반도체 제조에 사용됩니다. FTIR은 적외선 스펙트럼을 이용해 푸리에 변환을 거쳐 불순물 농도를 분석하는 스펙트럼 분석 장비입니다.

목적: ·개발 및 성숙되었으며 다음을 포함하여 Routine에 적용할 수 있습니다. A. BPSG/PSG의 인 및 붕소 함량 예측. B. 칩의 산소 및 탄소 함량 예측. C. 에피택셜 두께 측정. ·

개발 중에 추가 설정이 필요한 사항은 다음과 같습니다. A. 질화규소의 수소 함량 예측. B. 다결정 실리콘의 산소 함량 예측. C. 포토레지스트 특성 분석. FTIR은 매우 편리한 분석 기기이며, STD 설정은 측정 결과에 큰 영향을 주기 위해 주로 광학 원리와 칩 조건(예: 크리스탈 백 처리 조건)을 사용하기 때문에 전체 측정의 초점입니다.

현재 모든 적외선 분광계는 푸리에 변환형이다. 분광계는 주로 광원(실리콘탄소

막대, 고압 수은등), 마이켈슨 간섭계, 검출기로 구성된다. 검출기와 간섭계로 구성됩니다. 푸리에 변환 적외선 분광기의 핵심은 마이컬슨(Michelson) 간섭계입니다. 시료는 특정 주파수의 적외선을 흡수하므로 감지기가 받는 간섭광의 강도가 변하여 간섭 패턴을 얻습니다. 다양한 샘플 중. 이 간섭 패턴은 움직이는 거울의 이동 거리에 따른 빛의 변화 곡선입니다. 푸리에 변환 기능을 사용하면 주파수에 따른 빛의 강도 변화를 나타내는 주파수 영역 다이어그램을 얻을 수 있습니다. 이 과정은 컴퓨터로 할 수 있습니다.

푸리에 변환 적외선 분광기로 샘플의 적외선 스펙트럼을 측정하는 단계는 다음과 같습니다.

1) 배경(샘플 없음)의 간섭 패턴을 수집합니다.

2) 위의 간섭 패턴을 푸리에 변환을 통해 단일 광선으로 변환합니다.

3). 배경의 단일 빔에 대해 샘플의 투과 스펙트럼 또는 흡수 스펙트럼을 얻습니다.

면역 확대 프로그램이라고도 알려진 EPI(Expanded Program on Immunization)는 그 기원과 발전을 다음과 같습니다.

1970년대 초 세계보건기구(WHO)는 아시아, 아프리카, 라틴아메리카의 발전 중국(중국 제외)에서는 매년 8천만 명 이상의 아기가 태어나지만, 백일해, 디프테리아, 파상풍, 홍역, 소아마비, 결핵에 대한 예방접종을 받는 어린이는 10% 미만이며, 대부분은 깜짝 예방접종이다. 위 6가지 전염병으로 인해 매년 500만 명의 어린이가 사망하고, 500만 명의 어린이가 실명, 마비 등 후유증을 겪고 있습니다. 그러나 경제 선진국에서는 광범위한 예방접종으로 인해 위 감염병의 이환율과 사망률이 성공적으로 감소되었습니다.

경제적으로 선진국에서 천연두를 퇴치하고 위에서 언급한 감염병을 통제한 경험을 바탕으로 1974년 5월 제27차 세계보건총회에서는 회원국들이 "면역방법을 개발하고 준수할 것을 요구하는 결의안"을 통과시켰습니다. 역학감시 천연두, 디프테리아, 백일해, 파상풍, 홍역, 소아마비, 결핵 등 감염병 예방을 계획하고, 예방접종 확대 프로그램(EPI)을 공식 제안하기 시작했습니다. 회의에서는 또한 민족 평등을 바탕으로 위에서 언급한 계획을 여러 나라 정부와 협력하여 개발해야 하며 예방접종의 질과 필요한 물적 장비를 보장하고 교육 및 과학 분야를 확대하기 위한 노력을 동원해야 한다고 발표했습니다. 계획의 실현을 촉진하기 위한 연구. 1976년과 1977년에 이 계획의 개발방향은 제29차와 제30차 세계보건총회에서 반복되었으며, 세계보건기구는 다른 계획에서 EPI에 우선순위를 부여하도록 요청받았다. 1978년 제31차 세계보건총회에서 세계보건기구 사무총장인 말러 박사는 자신의 보고서에서 EPI의 천연두 박멸 프로그램 및 기타 프로그램의 지속이 의료 및 보건 지원, 모자보건과 연계되어야 한다고 제안했습니다. 프로그램들. 또한 EPI의 단기 및 중기 계획, 즉 1990년까지 전 세계 모든 어린이에게 BCG, 소아마비 백신, 디프테리아-파상풍-백일해 혼합 백신 및 홍역 백신을 접종하여 질병률과 사망률을 줄이겠다는 계획을 제안했습니다. 해당 질병의. 동시에 간부 양성, 백신 품질 개선, 조직 관리 강화 등이 계획 실현의 중기 목표로 꼽힌다. 이번 회의에서는 글로벌 EPI 자문단 설립 결의안도 통과됐다.

같은 해 9월 구소련 알마티에서 열린 국제일차보건의료회의에서는 EPI 활동이 모자보건과 일차보건의료 활동의 구성요소 중 하나이며, 필수적인 부분임을 강조하였다. '2000년까지 모두를 위한 건강관리'라는 글로벌 전략 목표의 중요한 부분이 알마아타 선언에 포함되어 1979년 유엔 총회에서 만장일치로 승인된 결의안이 되었습니다. 우리나라는 1981년에 공식적으로 글로벌 EPI 활동에 참여했습니다. ?

1987년 세계보건기구(WHO)는 그해 4월 7일을 '세계 보건의 날'이라는 주제로 '예방접종 - 모든 어린이를 위한 기회'를 채택했습니다. 말러 사무총장은 '세계 보건 메시지'에서 현재의 글로벌 EPI 활동이 일차의료 강화와 함께 지속적으로 발전하고 있으며 몇 가지 놀라운 결과를 달성했다고 지적했습니다. 어린이, 백신, 보건 인력이 결합된 국가에서는 매년 약 800,000명의 어린이를 죽음에서 구할 수 있습니다. 그러나 대부분의 개발도상국에서는 백일해, 디프테리아, 파상풍, 홍역, 소아마비, 결핵 등 6가지 전염병이 여전히 주요 공중보건 문제로 남아 있습니다. 그는 현대 기술이 발달한 오늘날 수천 명의 어린이가 백신으로 예방할 수 있는 질병으로 죽어가는 현상을 더 이상 용납할 수 없다고 지적했습니다. 예방접종은 모든 어린이에게 기회가 되어야 하며, 보편적인 어린이 예방접종은 모든 사람의 건강 관리를 보장하는 이정표로 간주되어야 합니다. 이런 점에서 세계를 구하기 위해서는 국민의 합리적인 협력, 각국 지도자들의 확고한 신념, 보건인력의 헌신적인 노력, 부모의 세심한 보살핌과 양육, 필요한 자금과 장비의 수집이 모두 필요합니다. 포괄적인 조치의 일부입니다.

현재 전 세계 80% 이상의 국가와 지역이 EPI 활동에 참여하고 있습니다. 모든 개발도상국의 예방접종률은 급속히 경제 선진국 수준에 가까워지고 있으며, 특정 질병의 발생률도 매년 100만 명씩 줄어들고 있으며, 홍역, 신생아 파상풍, 백일해로 인한 사망자는 17만 명 이상입니다. 전 세계적으로 소아마비 발병이 예방되었으며 보건 노력에 상당한 진전이 있었습니다. ?

우리 정부는 언제나 어린이의 예방적 건강관리를 매우 중시하며 어린이의 건강한 성장에 관심을 기울여 왔습니다. 중화인민공화국 건국 초기에는 '예방 우선' 보건사업 방침을 수립하고 전국적으로 우두 예방접종을 실시했으며, 이후에는 BCG, 디프테리아-파상풍 제제, 소아마비 등의 대규모 예방접종을 실시했다. 설탕 알약 백신, 홍역 백신 및 기타 백신이 점차 확대되었습니다. 천연두는 1960년대 초에 퇴치되었으며, 이에 상응하는 다른 전염병의 발생률도 해마다 감소했습니다. 1963년 보건부가 '백신접종 실시방안'을 발표하면서 일부 지역에서는 비정기 접종에서 계획 접종으로 점차 변화하기 시작했다. 보건부는 1978년과 1980년에 『계획면역사업 강화에 관한 고시』, 『예방백신사업 실시방안』을 차례로 발표한 데 이어 1982년 10월 제1차 전국계획면역사업회의를 개최하여 보건부를 설치하였다. 의학 위원회의 예방접종특별위원회와 6개 지역협력위원회는 '국가예방접종계획사업규정', '국가예방접종계획사업계획 1982~1990', '계획예방접종사업 평가방법'을 공포하여 국가의 예방접종사업 평가방법을 통일하였다. 아동 예방접종 절차 , 계획된 예방접종 사업의 개념, 내용, 지표 및 방향을 명확히 했습니다.

1985년 국가 지도자들은 관련 UN 문서에 서명하고 보편적 아동 예방접종 목표를 약속하면서 '제7차 5개년 계획' 기간 동안 두 단계로 목표를 달성할 것을 제안했습니다. 예방접종사업의 리더십을 강화하기 위해 1986년 국무원의 비준을 거쳐 국가예방접종사업조정위원회를 설치하고 보건부, 국가교육위원회 등 부처 장들이 참석했다. , 중국전국부녀연맹, 광전영화부, 대외무역경제합작부, 국가민족위원회는 매년 4월 25일을 전국 '어린이 예방접종 인식의 날'로 결정했습니다. ". 유니세프의 후원과 각계각층의 정부의 적극적인 지원으로 전국적으로 콜드체인 장비가 갖추어져 있으며 점점 더 많은 어린이들이 적시에 효과적인 예방접종을 받을 수 있게 되었습니다. 1989년과 1991년에 세계보건기구와 유엔아동기금은 우리 나라 보건부와 협력하여 두 차례에 걸쳐 전국적인 표본 검토를 실시했고, 예방접종률은 예정대로 정해진 목표에 도달했습니다.

현재 국가 계획 예방접종 사업은 3단계 목표, 즉 1995년까지 마을의 예방접종률을 85% 이상으로 달성하고 소아마비를 기본적으로 퇴치하는 데 중점을 두고 있다. 어린이를 위한 예방접종 보호는 제도화, 표준화, 합법화를 향해 발전하고 있습니다.