마스크 조준기는 칩 제조의 관건이다. 현재 국내 어떤 기업이 리소그래피 기계를 개발할 수 있습니까?

리소그래피 기계는 칩 제조의 핵심 장비입니다. 중국 R&D 에 투자한 회사는 마이크로전자 설비 (그룹) 유한회사, 중과원 장춘광기 등이 있습니다. 허페이심석 반도체 유한공사, 선텐광전기술유한공사, 합비심석 반도체 유한공사 모두 R&D 와 제조가 있습니다. 하지만 현재 국내 하이엔드 칩 제조는 주로 네덜란드에서 수입한 리소그래피 기계에 의존하고 있다. 중국의 리소그래피 기계는 부단히 발전하고 있지만, 국제 거물인 니콘 캐논 (중급 리소그래피 시장이 기본적으로 하락하고 있음) 과 아스마이 (중급 하이엔드 시장이 거의 독점하고 있음) 보다 훨씬 뒤떨어져 있다.

리소그래피 기계는 칩 제조의 핵심 장비 중 하나이며 용도에 따라 여러 가지 유형으로 나눌 수 있습니다. 칩을 생산하는 리소그래피 기계가 있습니다. 포장용 마스크 조준기; LED 제조 분야에 사용되는 투영 마스크 정렬기도 있습니다. 칩 생산에 사용되는 리소그래피 기계는 중국 반도체 장비 제조에서 가장 큰 단판입니다. 국내 웨이퍼 공장에 필요한 고급 리소그래피 기계는 수입에 전적으로 의존하고 있다. 리소그래피 기계는 업계에서 집적 회로 업계의 왕관 위의 명주로 간주되어 개발한 기술 문턱과 자금 문턱이 모두 높다. 이 때문에 하이 엔드 리소그래피 기계를 생산할 수있는 제조업체는 거의 없습니다. 현재 가장 진보한 14nm 리소그래피 기계는 아스맥만 남았고, 일본 캐논과 니콘은 이미 6 세대 EUV 리소그래피 기계 개발을 거의 포기했다. 대조적으로, 국내 리소그래피 기계 제조업체는 매우 초라하다.

상하이 마이크로일렉트로닉스 장비 (그룹) 유한회사의 리소그래피 기계는 주로 집적 회로 앞 회로, 고급 패키징, FPD, MEMS, LED, 전력 부품 등 제조 분야에 적용된다. 20 18 년 50 ~ 60 대 정도 출하됩니다. 영업소득이 발표되지 않아 정부 보조금이 많다. 기술적으로 선두에 있는 상하이 마이크로일렉트로닉스 설비유한공사에서 양산 성능이 가장 좋은 리소그래피 기계는 90nm 리소그래피 기계여서 제조 공정에서 차이가 많이 납니다. 국내 웨이퍼 공장에 필요한 고급 리소그래피 기계는 수입에 전적으로 의존하고 있다.

2016165438+10 월 15 장춘광기가 이끄는 국가 과학기술 중대 특별 02? 극자외선 각인 핵심 기술 연구? 이 프로젝트는 수락 전 현장 테스트를 성공적으로 완료했습니다. 장춘광기소, 청두광전소, 상해광기소, 중과원 마이크로일렉트로닉스, 베이징공대, 하얼빈공업대학

합비 신석 반도체 유한공사는 2006 년 4 월에 설립되어 중국 최초의 반도체 직필 광각 설비 제조업체이다. 회사가 자체 개발한 ATD4000 은 최대 200nm 의 양산을 실현했다.

무석사쿠라는 20 15 년 6 월에 설립되었으며, 사쿠라는 중국과학원 마이크로일렉트로닉스 연구소, 업계 선임 기술팀, 산업기금이 공동으로 설립한 전문 마이크로전자 장비에 종사하는 하이테크 기업입니다. 막속사는 반도체 분야에서 사용되는 레이저 직접 쓰기/제판 리소그래피 장비와 세계 최초의 고속 레이저 직접 이미징 연결 장치 (LDI) 를 성공적으로 개발해 200nm 의 최대 생산량을 달성했다. 무석사쿠라는 20 15 년 6 월에 설립되었으며, 사쿠라는 중국과학원 마이크로일렉트로닉스 연구소, 업계 선임 기술팀, 산업기금이 공동으로 설립한 전문 마이크로전자 장비에 종사하는 하이테크 기업입니다. 막속사는 반도체 분야에서 사용되는 레이저 직접 쓰기/제판 리소그래피 장비와 세계 최초의 고속 레이저 직접 이미징 연결 장치 (LDI) 를 성공적으로 개발해 200nm 의 최대 생산량을 달성했다.

선텐광전은 20 13 년 4 월에 설립되어 현재 최대 200nm 양산을 실현하였다. 20 14 국제 반도체 장비 및 재료 전시회에서 선텐광전은 완전히 자율적인 지적 재산권을 가진 LED 리소그래피 기계 생산 기술을 선보이며 4 명을 놀라게 했다.