건식 진공 펌프의 응용 분야

건식 기계식 진공 펌프는 주로 다음과 같은 측면에서 널리 사용됩니다.

1) 저압 화학 기상 증착의 폴리실리콘 준비 공정에서

2) 반도체 식각 공정. 이러한 생산 공정에서는 부식성 가스와 마모성 입자가 자주 사용되거나 생성됩니다.

3) 반도체 공정 외에도 입자를 생성하는 일부 공정에서는 입자가 펌프 오일에 혼합되는 것을 원하지 않지만, 배출되는 입자 펌프 외에도 특정 유형의 건식 기계식 진공 펌프가 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

4) 화학 산업의 증류, 건조, 탈기, 포장 등에서 제약산업, 식품산업, 유기용제를 반드시 방지해야 하며 오염을 유발할 경우 건식진공펌프를 사용하는 것이 적합합니다.

5) 일반 오일프리 클린진공의 배킹펌프로 사용됩니다. 석유 오염을 방지하는 시스템.