마스크 정렬기 성공 이유

리소그래피 기계는 실리콘 등 기판에 목표 구조 패턴을 인쇄하는 기계이다. 성공 원인은 다음과 같습니다.

1, 기술 혁신: 리소그래피 노출 기술의 끊임없는 발전으로 리소그래피 노출 기술이 나노 해상도에 도달하여 칩 제조 정확도를 크게 높였습니다.

2. 효율적인 생산: 리소그래피 기계는 제조 공정에 높은 정확도와 안정성이 필요한 고정밀 장비입니다. 자동화 생산 라인을 도입하여 리소그래피 기계의 효율적인 생산을 실현하고 생산 효율과 품질을 향상시킬 수 있습니다. 예를 들어, 리소그래피 기계 생산 라인의 자동 정렬 시스템은 리소그래피 위치를 자동으로 조정하여 생산성과 정확도를 크게 향상시킬 수 있습니다.

칩 제조 공정 최적화: 칩 제조 공정은 지속적으로 최적화됩니다. 리소그래피 기계의 제조 공정 및 매개변수 설정을 개선하여 생산성과 품질을 향상시킬 수 있습니다. 예를 들어, 포토 레지스트 배합 및 노출 매개변수를 최적화하여 더 높은 해상도와 더 빠른 생산 속도를 얻을 수 있습니다.