정전식 변위 센서는 매우 정확합니까?

정전식 변위 센서의 분해능은 매우 높습니다.

단점은 측정 범위가 매우 짧고 측정 전 표준편을 사용하여 교정해야 한다는 점입니다. 일단 실제 측정 대상의 재질, 구성 또는 균일성이 표준편과 약간 다릅니다. , 치명적인 오류도 발생합니다.

측정 대상이 반사체인 경우에는 레이저 간섭계 센서를 사용하고, 측정 대상이 반사체가 아닌 경우에는 분광 초점 센서를 사용하는 것이 좋습니다. 감지기. 두 센서의 분해능은 나노미터 범위에 있습니다.